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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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当前位置： 蓝星宇 > 原子层沉积设备 > 芬兰PICOSUN原子沉积机 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr

芬兰PICOSUN原子沉积机 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr

品牌：
产地： 芬兰
型号： P-300F Pro ALD，P-300BV Pr
报价： ¥100万 - 200万
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核心参数

产地类别： 进口

衬底尺寸： -

工艺温度： -

前驱体数： -

重量： -

尺寸(W x H x D)： -

均匀性： -

产品介绍

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产品详情


芬兰PICOSUN原子沉积机 P-300F Pro ALD，P-300BV Pro ALD

技术参数
 。衬底尺寸和类型 200 mm 晶圆 25 + 2片/批次 (标准间距)
 。150 mm晶圆50 + 2片/批次 (标准间距)
 。100 mm晶圆50 + 2片/批次 (标准间距)
 

工艺温度： 50 - 300 °C
 

基片传送选件：

。 P-300F Pro: 27片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系统实现。
 。P-300BV Pro: 52片晶圆盒对盒式全自动装载，用真空批量load lock实现
 

标准 。 P-300F Pro: SEMI S2 认证
   。P-300BV Pro: SEMI S2 认证（认证中）
 

前驱体 ：

 。液态、固态、气态、臭氧源
 。前驱源余量传感器, 并提供清洗和装源服务
 。6根独立源管线，最多加载8个前驱体源
 

重量： 820 kg
 

尺寸 ：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
 

选件： 集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。
 

验收标准： 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺，
 

其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如
               - 不均匀性
               - 颗粒物含量
               - 重金属污染
               - 电学性能
 


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次
保内维修承诺： 经确认质量问题免费更换
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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原子层沉积 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr的工作原理介绍

原子层沉积 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr的使用方法?

P-300F Pro ALD，P-300BV Pr多少钱一台?

原子层沉积 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr可以检测什么？

原子层沉积 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr使用的注意事项？

P-300F Pro ALD，P-300BV Pr的说明书有吗？

原子层沉积 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr的操作规程有吗？

原子层沉积 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr报价含票含运吗？

P-300F Pro ALD，P-300BV Pr有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

客服电话

400-860-5168转4527
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供芬兰PICOSUN原子沉积机 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr，null P-300F Pro ALD，P-300BV Pr产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了芬兰PICOSUN原子沉积机 P-300F Pro ALD，P-300BV Pr的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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