PICOSUN P-200S Pro ALD 生产型原子层沉积机

产地类别： 进口

衬底尺寸： -。50 – 200 mm /单片 。156 mm x 156 mm 太阳能硅片 。150 mm x 150 mm 显示面板

工艺温度： - 50 - 500 °C , 可选更高温度

前驱体数： - 。 液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体（最多4路气体）： 。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 。6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上Plasma管路，共7根独立源管线）

重量： -790 kg

尺寸(W x H x D)： -(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

均匀性： -100%