您好,欢迎访问仪器信息网
注册
深圳市蓝星宇电子科技有限公司

关注

已关注

金牌5年 金牌

已认证

粉丝量 0

400-860-5168转4527

仪器信息网认证电话,请放心拨打

当前位置: 蓝星宇 > 原子层沉积设备 > 芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200

芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200

品牌:
产地: 芬兰
型号: R-200
报价: ¥100万 - 200万
获取电话
留言咨询

核心参数

产地类别: 进口

衬底尺寸: -

工艺温度: -

前驱体数: -

重量: -

尺寸(W x H x D): -

均匀性: -

产品介绍
产品详情

芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200


技术参数

。衬底尺寸和类型 50-200 mm /单片
。156 mm x 156 mm太阳能硅片
。3D 复杂表面衬底
。粉末与颗粒
。多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
。工艺温度 :50 - 500 °C , 可选更高温度
。基片传送选件 :气动升降(手动装载) ,预真空室安装磁力操作机械手(Load lock )
。前驱体 液态、固态、气态、臭氧源 ,4根独立源管线,最多加载6个前驱体源
。重量 :350 kg
。尺寸: (W x H x D) 取决于选件
-最小146 cm x 146 cm x 84 cm
-最大189 cm x 206 cm x 111 cm
。选件 :PICOFLOW™扩散增强器,集成椭偏仪,QCM, RGA,N2 发生器,尾气处理器,定制设 计,手套箱集成(用于惰性气体下装载)
。验收标准 :标准设备验收标准为 Al2O3工艺


  


PICOSUN™ R系列设备提供高质量ALD薄膜的沉积技术,并在各种各样的衬底上都表现极佳的均匀性,包括最具挑战性的通孔的、超高深宽比和颗粒等样品。
我们为液体、气体和固体化学物提供的更高级的,易更换的前驱源系统,能够在晶圆、3D样品和各种纳米特性的样品上生长颗粒度最小的薄膜层。 在最基本的PICOSUN™ R系列配置中可以选择多个独立的,完全分离的源入口匹配多种类型的前驱源。


    
 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
问商家

原子层沉积R-200的工作原理介绍

原子层沉积R-200的使用方法?

R-200多少钱一台?

原子层沉积R-200可以检测什么?

原子层沉积R-200使用的注意事项?

R-200的说明书有吗?

原子层沉积R-200的操作规程有吗?

原子层沉积R-200报价含票含运吗?

R-200有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

联系我们
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200,nullR-200产地为芬兰,属于进口原子层沉积设备,除了芬兰PICOSUN标准型原子层沉积机R-200的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
推荐产品
供应产品

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

查看电话

沟通底价

提交后,商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价,选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式:

公司名称: 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址: 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人: 廖敬强 13538131258,徐翠兰15915408056 邮编: 518104 联系电话: 400-860-5168转4527

仪器信息网APP

展位手机站