看了外延系统的用户又看了
用于高级研究的先进能力
Savannah® 已成为全球从事原子层沉积 （ALD） 的大学研究人员的首选系统，他们正在寻找经济实惠且强大的平台。在过去十年中，我们已经交付了数百个这样的系统。Savannah®对前驱体的高效利用和节能特性大大降低了薄膜沉积系统的运行成本。
原位椭圆偏振仪
原位质量控制
自组装单层膜
2 秒循环时间
综合臭氧
低蒸气压沉积
批处理
手套箱集成
Savannah®配备了高速气动脉冲阀，以实现我们独特的曝光模式™，用于在超高宽宽比基板上沉积薄膜。这种经过验证的精密薄膜镀膜方法可用于在纵横比大于 2000：1 >基板上沉积保形、均匀的薄膜。Savannah® 提供三种配置：S100、S200 和 S300。Savannah® 能够容纳不同尺寸的基材（S300 可达 300 毫米）。Savannah®薄膜沉积系统配备了加热的前驱体线，并可选择添加多达六条线。Savannah® 能够处理气体、液体或固体前体。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
VEECO外延系统Savannah的工作原理介绍
外延系统Savannah的使用方法?
VEECOSavannah多少钱一台?
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外延系统Savannah使用的注意事项？
VEECOSavannah的说明书有吗？
VEECO外延系统Savannah的操作规程有吗？
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