高真空磁控溅射与离子束复合薄膜沉积系统-
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沈阳科仪

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FJL560

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中国大陆

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品概述:

高真空磁控溅射与离子束复合薄膜沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等,工艺性能稳定、模块化结构,采用行业领先的软件控制系统。

设备用途:

用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研项目。

真空室结构:
圆筒形上升盖

 

真空室尺寸:
φ550x450mm

 

极限真空度:
≤6.0E-5Pa

 

沉积源:
磁控靶3套,φ2英寸;四工位转靶1套;

 

样品尺寸,温度:
φ2英寸,6片。最高800℃

 

占地面积(长x宽x高):
约3米×1.1米×2米

 

电控描述:
全自动

 

工艺:
片内膜厚均匀性:≤±3%

 

特色参数 :
溅射源:考夫曼离子源 Kaufman 2套,φ2英寸



售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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沈阳科仪物理气相沉积FJL560的工作原理介绍

物理气相沉积FJL560的使用方法?

沈阳科仪FJL560多少钱一台?

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