微波等离子体刻蚀机
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善准科技

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VP-Q5

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中国大陆

  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
  • 频率: 2.45GHz微波等离子源
  • 功率: 400W
  • 工作气路: 2路
  • 操作控制: 触摸屏控制
  • 泄压: 自动泄压
  • 真空检测: 数字显示
  • 放电类型: 磁增强微波放电
  • 腔体温度: 小于40°C

微波等离子体刻蚀机VP-Q5等离子激发频率2.45GHz,真空腔体石英玻璃材料,腔体容积5升,中英文操作系统,触摸屏控制,频率2.45GHz有强的化学作用,适用于芯片微波刻蚀、晶圆去胶、半导体光刻胶去除、金属油污去除、半导体、塑料、PP、高分子等材料清洗,活化,蚀刻和改性。

售后服务承诺

保修期: 2年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 提供相关技术支持及服务

免费仪器保养: 终身维护服务

保内维修承诺: 对等离子清洗主机保修2年

报修承诺: 24小时内安排技术人员保修

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