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等离子刻蚀机VP-RS15真空腔体不锈钢材质，功率500W，射频频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于45℃，不损伤样品，适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA刻蚀处理。
保修期: 2年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 提供相关技术支持及服务
免费仪器保养: 终身维护服务
保内维修承诺: 对等离子清洗主机保修2年
报修承诺: 24小时内安排技术人员保修
