仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHz
功率： 0~1000W（多种选择）
设备尺寸： w240 mm x h 240 mm x d 420 mm
样品腔容积： 24L
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 3路
控制方式： 手动/全自动
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低压等离子清洗机 Diener NANO系列
低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上，材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类：
一微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减
二化学反应：材料表面与离子化的气体发生化学反应
三紫外线放射：紫外射线将长链碳化合物分解
NANO多种配置，完全满足不同客户需求
VERSION A | VERSION C |
VERSION D |
VERSION B |
VERSION E |
应用：
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
应用领域：
| REM, TEM | 考古 | 汽车制造业 | 橡胶制造业 |
| 微机械制造 | 传感器检测 | 灭菌 | 纺织业 |
| 医疗器械制造业 | 塑料制造业 | 研发部门 | 电子半导体行业 |
规格、参数：
系列 | Nano系列 |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 18~36L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件，配有盖子 矩形不锈钢件，配有铰链的门 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | （选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
真空泵 | 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要） |
电源 | 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 |
其他 2021-10-26
其他 2021-10-26
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 昆山康龍電子科技有限公司 | 2017-02-02 |
| 美特科技（苏州）有限公司 | 2020-04-01 |
| 深圳华乾科技有限公司 | 2016-09-07 |
| 苏州路之遥科技股份有限公司 | 2016-10-05 |
| 浙江晶景光电有限公司 | 2016-11-01 |
| 上海理工大学 | 2013-12-10 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 现场操作培训
免费仪器保养: 1年1次
保内维修承诺: 免费更换部件，玻璃制品和耗材除外
报修承诺: 24~48小时到达现场进行维修
DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机
型号：ATTO 15万
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型号：PLASMABEAM 12万等离子清洗机、等离子蚀刻机、手持式等离子等多种等离子设备在上海尔迪仪器科技有限公司有售。如有需要可联系我司。
几乎在所有的表面上都存在肉眼看不见的细微污垢，这严重损害了对表面的进一步处理，例如胶合、印刷、涂漆或涂装。金属、塑料或无机材料上的这些细微的杂质可以通过等离子体清洗去除，而无需使用额外的化学品。
低压等离子体提供了非常多的表面改性方法。对脏污组件进行精细清洗、对塑料件进行等离子活化、对 PTFE、硅进行蚀刻，以及对具有PTFE 类涂层的塑料件进行涂覆，这些是其部分应用用途。就此而言，低压等离子体可应用于各种不同的领域，在这些领域中对材料进行键合或者有针对性地改变表面特性对其来说非常重要。
尔迪仪器解读等离子体活化，有需要等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子设备等的可联系上海尔迪仪器科技有限公司
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