等离子清洗机FEMTO

Femto 等离子系统可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Femto 等离子系统主要应用于以下领域：

分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术

1.基本装备

根据具体组件/选装件，外壳会有所不同

腔室容积：根据具体版本，分为 1.9 - 6 升

供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位

2.真空腔室

圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 100 mm，长 278 mm 或长 600 mm）

矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 103 x 深 285 x 高 103）

矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 103 mm x 103 mm，长 280 mm 或长 600 mm）

圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm）

圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm

3.装载件：

产品支架（选项：水冷型），石英玻璃舟皿，粉末转鼓 ，散装件转鼓 ，铝板，不锈钢板，硼硅玻璃，石英玻璃

4.电机：单层或多层，RIE

5.控制系统

半自动型

Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)

6.压力测量：Pirani，电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

7.计时器：数字

8.发生器

频率：    

40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

100 kHz：功率 500 W

80 kHz：功率 1000 W

13.56 MHz： 功率 0 - 200 W

2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

9.真空泵：不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

10.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。