产地类别： 进口
旋转速度： 20-10000rpm
最大加速度： 20-50000rpm/s
基片直径： 小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘
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v 转速范围：20-10000rpm
v 转速分辨率：±1rpm
v 加速度可调范围：20-50000rpm/s
v 单步时长：3000s
时间分辨率：0.1s
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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