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QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统

品牌: 韫茂
产地: 福建
型号: QBT-I
报价: ¥150万 - 200万
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核心参数

仪器种类: 热蒸发镀膜机

应用领域: 微电子学

产地类别: 国产

靶材: 铟单质

基片尺寸: 6寸(可定制)

基片温度范围: -10-40℃

成膜厚度均匀性: <3%

极限真空: 极限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr

产品介绍

QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统


微信图片_20220223154559.jpg

产品详情:


上下双腔,集表面处理与蒸发镀膜为一体,高效可靠的Indium蒸镀助手。


技术参数


QBT-I 技术参数 Technical Specifications (Indium Bump等制备)
高真空腔体 HV Chamber2个HV腔室,Loadlock离子束刻蚀及蒸镀,极限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr
排气速率Pumping Spead从ATM到8E-7Torr<15min (loadlock)
极限蒸发速率 High Depostion Rate5-12nm/s (Indium), Ф100基板镀膜均一性<3%, 大容量坩埚
精准的样品冷却控制 Wafer Cooling-10-40℃ (精度±0.1)
离子束清洗 Ion Milling考夫曼离子源, Ф100基板刻蚀均一性<3%
人机界面 HMI全自动化人机操作界面
安全Safety工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO


测试结果


微信图片_20220223154605.jpg



售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 1. 设备出厂前,提供至少2人一周的设备原厂培训。 2. 设备在现场完成安装调试
免费仪器保养: 有需要可安排
保内维修承诺: 保修期内(除天灾和人为损害外)部件、元件费用、出差费用均由我司承担
报修承诺: 质保期内出现故障时我司将及时响应,并在8小时内派技术人员到现场解决故障;
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2022/03/11

工商信息

企业名称

厦门韫茂科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91350200ma31jeyq4y

成立日期

2018-03-19

注册资本

409

经营范围

厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统,韫茂QBT-I 产地为福建,属于国产物理气相沉积设备,除了QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供桌面型原子层沉积系统ALD 、双腔体等离子体原子层沉积系统 QBT-T、粉末式原子层沉积 GM1000,YM客服电话,售前、售后均可联系。

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