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厦门韫茂科技有限公司
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解决方案
用原子层沉积方法制作氧化铝钝化膜
应用领域
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检测项目
椭偏仪原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域，例如：制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池；钙钛矿电池的钝化层；有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2，ZnO薄膜，使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性̷̷
共2台
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