2022/03/17 14:07
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产品配置单:
桌面型原子层沉积系统ALD
型号: Mini Desktop ALD
产地: 福建
品牌: 韫茂
¥50万
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双腔体等离子体原子层沉积系统 QBT-T
型号: QBT-T
产地: 福建
品牌: 韫茂
¥100万 - 200万
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方案详情:
原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域,例如:制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池;钙钛矿电池的钝化层;有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2,ZnO薄膜,使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性。
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