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用原子层沉积方法制作氧化铝钝化膜

2022/03/17 14:07

阅读:46

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应用领域:
其他
发布时间:
2022/03/17
检测样品:
检测项目:
椭偏仪
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46
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参考标准:
均一性<1%

方案摘要:

原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域,例如:制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池;钙钛矿电池的钝化层;有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2,ZnO薄膜,使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性&#823&#823

产品配置单:

前处理设备

桌面型原子层沉积系统ALD

型号: Mini Desktop ALD

产地: 福建

品牌: 韫茂

¥50万

参考报价

联系电话

双腔体等离子体原子层沉积系统 QBT-T

型号: QBT-T

产地: 福建

品牌: 韫茂

¥100万 - 200万

参考报价

联系电话

方案详情:

原子沉积的Al2O3膜可以应用在太阳能光伏/钙钛矿电池等领域,例如:制作钝化发射极的晶体硅太阳能电池;钙钛矿电池的钝化层;有机电致发光的封装薄膜等。本次实验在4寸硅片上镀AL3O2,ZnO薄膜,使薄膜表面具有最高的均匀性和致密性。


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