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核心参数
刻蚀原理： 等离子体刻蚀
产地类别： 进口
刻蚀原理： 搭载有磁场ICP（ISM）或NLD等离子源
刻蚀速率： 1um
刻蚀剖面： 6寸
选择比： 1:20
均匀性： ±5%
残留物： 1%
宽深比： 1:20
量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800
量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备。
产品特性 / Product characteristics
除单腔之外，另可搭载有磁场ICP（ISM）或NLD等离子源、去胶腔体、CCP腔体等对应多种刻蚀工艺。
为实现制程再现性及安定性搭载了星型电极及各种调温技能。
拥有简便的维护构造，实现downtime最短化，提供清洗、维护及人员训练服务等综合性的售后服务体制。
专门的半导体技术研究所会提供万全的工艺支持体制。
产品应用 / Product application
化合物（LED或LD、高频器件）或Power device（IGBT配線加工、SiC加工）。
金属配线或层间绝缘膜（树脂类）、门电极加工工艺
强电介质材料或贵金属刻蚀。
磁性体材料加工。
等离子体刻蚀NE-5700/NE-7800的工作原理介绍
等离子体刻蚀NE-5700/NE-7800的使用方法?
NE-5700/NE-7800多少钱一台?
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企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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