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核心参数
清洗方法： 湿法清洗
产地类别： 进口
设备类型： 单晶圆清洗
晶圆尺寸： 4-12
相关技术： 融合和混合键合系统
尺寸： 2400*4720*2555
适用制程、应用范围： 在Co-D2W结合,多个模具转移到最终的晶片在一个处理步骤。
产能： 150/H
自动单晶片清洗系统，可有效去除颗粒
EVG320自动化单晶圆清洗系统可在处理站之间自动处理晶圆和基板。 机械手处理系统可确保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自动预对准和装载晶圆。 除了使用去离子水冲洗外，配置选项还包括兆频，刷子和稀释的化学药品清洗。
特征
多达四个清洁站
全自动盒带间或FOUP到FOUP处理
可进行双面清洁的边缘处理（可选）
使用1 MHz的超音速喷嘴或区域传感器（可选）进行高效清洁
先进的远程诊断
防止从背面到正面的交叉污染
完全由软件控制的清洁过程
EVG湿法清洗设备清洗机的工作原理介绍
湿法清洗设备清洗机的使用方法?
EVG清洗机多少钱一台?
湿法清洗设备清洗机可以检测什么？
湿法清洗设备清洗机使用的注意事项？
EVG清洗机的说明书有吗？
EVG湿法清洗设备清洗机的操作规程有吗？
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EVG清洗机有现货吗？
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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