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Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺

品牌:
产地: 德国
型号: Centrotherm -c.RAPID 150/RTP 150
报价: $100万
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核心参数

仪器种类: 高真空快速退火炉

产地类别: 进口

样品尺寸: 6英寸

温度范围: 可在常压或者真空(控压)下工作

最高升温速率: 150 K/s

降温速率: 150 K/s

退火温度准确性: ±1度

退火温度均匀性: 95%

产品介绍

Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150

 

Centrotherm 快速退火炉-c.RAPID 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

150-11.png 

Centrotherm测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。Centrotherm优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯,提供了出色的控温精度和控温重复性。

此款设备配置手动装载系统,适用于研发以及小型的量产。

成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。出色的性能和高度的灵活性,结合小的占地面积,低的客户拥有成本,使c.RAPID 150成为一款最佳的手动RTP设备。

 

二、典型应用

退火:一般退火、接触层(Contact)退火、源/漏退火、势垒金属退火

硅化

氧化

掺杂活化

三、产品特性

可在常压或者真空(控压)下工作

高度灵活性:适用于最大6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盘

升温速率约150 K/s

出色的温度均匀性

精确的环境控制

高的设备可靠性

可以并排安装

 

 

 

Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

 

RTP 150型快速热反应设备,采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要,是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。

RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制,采用了CENTROTHERM公司专利技术的温度控制系统。

RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。

设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。

 

设备特点:

压力可控的真空或大气环境下工作

高灵活性:最大6寸硅片或其他材料

温度范围:20℃~1150℃

不限时加热的工艺温度可达 750℃

升温速率可达150k/s(即150℃/秒)

每个加热灯管独立控制,极高的温度均匀性

±0.5℃温度一致性

长寿命加热灯管,低维护成本

 

典型应用:

金属接触退火

掺杂物活化

源极/漏极退火

干氧化

薄晶圆退火

 

设备参数:

应用:  生产或研发

基板材料: 硅片、GaAs、石墨、碳化硅、氮化镓、蓝宝石

晶圆尺寸: 最大6寸

加热系统: 24组加热灯,PWM控制

冷却水:  20 L/分钟

 风:  250 m3/小时

     

可选件:

用于温度曲线调整的温度测量系统

用于全自动操作的双机械手臂

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2个月1次
保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修
报修承诺: 24小时到达
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退火炉Centrotherm -c.RAPID 150/RTP 150的工作原理介绍

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电子/电气

2020/01/13

工商信息

企业名称

北京亚科晨旭科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110105009081828

成立日期

2005-11-28

注册资本

500

经营范围

技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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