核心参数
仪器种类: 高真空快速退火炉
产地类别: 进口
样品尺寸: 详见资料
温度范围: 详见资料
最高升温速率: 详见资料
降温速率: 详见资料
退火温度准确性: 详见资料
退火温度均匀性: 详见资料
德国UnitemP真空快速退火炉RTP-150, 单晶圆,150mm,最快升温速率可达150K/s
· 6”单晶圆
· 升温速率可达到150K/s
· 7“液晶触控面板操作
· SPS SIMATIC 软件控制
· 真空度可达10^-3hPa
· MFC 控制
特点
· 精确控制快速升降温速率
· 优异的温度均匀性
· 可升级4 路工艺气体(MFC)
· 集成数据存储
· 红外卤素灯加热
· 不少于50 个可编程序,50 步
· 小型化设计
应用
· 离子注入退火与电极合金化
· RTP, RTA, RTO, RTN
· 不同气氛下退火,氧气、氮气等常见气体
· SiAu,SiAl,SiMo 合金化
· 低k 电介质
· 晶相化和坚化、、、
德国RTP-150 真空快速退火炉
技术参数:
样品尺寸: 150mm 直径
最高温度: 1200℃
温度均匀性: ≤1.5% @设定温度
升温速率: 升温速率
降温速率: T=1000℃→400℃:200K/min,T=400℃→100℃:30K/min
真空度: 可达10^-3hPa
样品室材质: 石英玻璃腔体带通用石英载物台
样品室高度: 18mm 134×169×18mm
工艺室尺寸:(W×D×H)
加热方式:24只红外卤素灯(21kW)上下排列加热
工艺气体:MFC 控制( 氮气5nlm)
控制系统:SIMATIC,50 个可编程序,50 个步
样品室冷却:水冷静
基片冷却:气冷
设备:
设备尺寸:505mm×525(700)mm×570mm(W×D×H)
重量:55kg
水电:CEE 3×32A, 230V, 3~ + N + PE,
选配:
1. RTP-H2:氢气气路含安全装置(传感器和氢气检测器)
2. RTP-H2S:硫化氢气路含安全装置(防护罩和传感器)
3. RTP-MFC:其他工艺气路,MFC 控制,最多4 路
4. RTP-OxAtAn:氧气分析仪用以测量氧气残余
5. RTP-MM: 湿度分析仪用以检测样品室湿度
6. RTP-SW: 开关箱
7. RTP-TC: 额外的热电偶
8. RTP-VAC I: 真空测量系统,本底真空到3hPa,真空规,真空阀,不包含真空泵。
9. RTP-VAC II:真空测量系统,适用真空到10^-3hPa,皮拉尼真空规,真空阀,不包含真空泵。
10. RTP-VCR:VCR 管(焊接)
附件:
1. RTP-GP-150:石墨托盘or 适配器(选配:SiC 涂层)
2. RTP-GP-100:石墨托盘or 适配器(选配:SiC 涂层)
3. RTP-QR-50:50mm 晶圆基座(石英)
4. RTP-QR-75:75mm 晶圆基座(石英)
5. MP:隔膜泵,真空:3hPa
6. RVP:旋片泵or 干泵,真空:10-3hPa
RTP-150 的实际温度曲线
退火炉RTP-150的工作原理介绍
退火炉RTP-150的使用方法?
RTP-150多少钱一台?
退火炉RTP-150可以检测什么?
退火炉RTP-150使用的注意事项?
RTP-150的说明书有吗?
退火炉RTP-150的操作规程有吗?
退火炉RTP-150报价含票含运吗?
RTP-150有现货吗?
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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