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核心参数
产地类别： 进口
靶材材质： Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配）
靶材尺寸： 直径57mmx 0.1mm厚
控制方式： 微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制
样品仓尺寸： 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
样品台尺寸： 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
美TED PELLA 自动离子溅射仪 108AUTO
108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
· 自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和很佳的导电喷镀效果。
· 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
· 操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
· 在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
· 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。
· 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。
· 可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数 | |
样品室大小 | 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
靶材 | Au 靶为标配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mmx 0.1mm厚 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm |
溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
模拟计量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
厚度监控 | 使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程 |
控制方法 | 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气 |
桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
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