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当前位置: 蓝星宇 > 离子溅射仪 > 美国TED PELLA高分辨离子溅射仪208HR

美国TED PELLA高分辨离子溅射仪208HR

品牌:
产地: 德国
型号: 208HR
报价: ¥80万 - 100万
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核心参数

产地类别: 进口

靶材材质: -详见资料

靶材尺寸: -详见资料

控制方式: -详见资料

样品仓尺寸: -详见资料

样品台尺寸: -详见资料

溅射气体: -详见资料

产品介绍
产品详情

美国TED PELLA高分辨离子溅射仪208HR-适用于场发射扫描电镜

 

一、主要特性

可选择多种镀膜材料

精确的膜厚控制

。样品台控制灵活:可对样品台进行独立的旋转、行星式转动、倾斜控制,保证形貌差异大的样品也能得到最佳的镀膜效果。

。多个样品座:提供4个样品座,每个样品座直径32mm,可装载多达6个小样品座。

。样品室几何可变: 样品室几何用于调节镀膜的速率(1.0nm/s ~ 0.002nm/s)

。宽范围的操作压力:独立的功率和压力调节,氩气的压力大小范围为0.2 - 0.005 mbar。

。紧凑、现代的桌上型设计

。操作容易

 

二、技术参数

溅射系统

镀膜头

低电压平面磁控管

靶材更换快速

环绕暗区护罩

靶材调节遮挡

靶材

Cr, Pt/Pd (标配) 
Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir (选配)

镀膜控制

微处理器控制

安全互锁

电流控制与真空度无关

数字化可选电流(20,40,60 和 80mA)

样品室大小

直径150mm
高度165 - 250mm

样品台

非重复的旋转、行星式转动,并可手动倾斜0-90°
转动速度可调 
晶体头
4个样品台

模拟计量

真空 Atm - .001mb 
电流 0-100mA

控制方法

自动气体净化和泄气功能

自动处理排序

带有“暂停”功能的数字计时器

自动放气

膜厚控制

MTM-20高分辨膜厚控制仪

真空系统

结构

分子涡轮牵引泵和旋叶泵组合,

代替旋叶泵的无油涡旋式真空泵(选配)

抽真空速度

0.1mb 下300 l/min

抽真空时间

1 mbar  至 1 x 10-3mbar

极限真空

1 x 10-5mbar

桌上型系统

旋叶泵置于抗震台上,全金属真空耦合系统

膜厚测控仪

MTM-20

基于微处理器,4位数字显示,复位按钮, 6MHz晶体(具有寿命检查功能),5次/s的更新速率

膜厚范围

0.0 - 999.9nm

分辨率

优于 0.1nm

密度范围

0.50 - 30.00gm/cm3

修正系数范围

0.25 - 8.00

镀膜终止范围

膜厚0 - 999.9nm

系统要求

电气

100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz

功率

550VA(最大)

氩气

最小纯度99.995% 
调节压力 5 - 6 psi (0.4 bar) 
6.0mm ID连接软管

 

 

208HR高分辨离子溅射仪为场发射扫描电镜应用中遇到的各种样品喷镀难题提供真正的解决方案。

场发射扫描电镜观察时,样品需镀上极其薄、无细晶且均匀的膜层以消除电荷积累,并提高低密度材料的对比度。为了将细晶的尺寸减小到最小程度,208HR提供了一系列的镀膜材料,并对膜厚和溅射条件提供无可媲美的控制。

 

208HR分子涡轮泵高真空系统提供宽范围的操作压力,可以对膜层的均匀性和一致性进行精确控制,并最大程度减小充电效应。高/低样品室的结构设计使靶材和样品之间的距离调节变得极为方便。

MTM-20高分辨膜厚控制仪分辨率小于0.1nm,其作用是对所镀薄膜的厚度进行精确控制,它尤其适合场发射电镜对膜厚(0.5-3nm)的要求。

 

场发射扫描电镜镀膜推荐的靶材是:

    。Pt/Pd:非导电样品镀膜的通用镀膜材料

     。Cr:优良的半导体样品的镀膜材料

。Ir:优良的真正无细晶的镀膜材料

 

208HR系统为得到最佳高分辨镀膜效果提供了多种配置选择,可配备标准的旋片泵或提供干净真空的无油涡旋式真空泵,标配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
问商家

离子溅射仪208HR的工作原理介绍

离子溅射仪208HR的使用方法?

208HR多少钱一台?

离子溅射仪208HR可以检测什么?

离子溅射仪208HR使用的注意事项?

208HR的说明书有吗?

离子溅射仪208HR的操作规程有吗?

离子溅射仪208HR报价含票含运吗?

208HR有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供美国TED PELLA高分辨离子溅射仪208HR,null208HR产地为德国,属于进口离子溅射仪,除了美国TED PELLA高分辨离子溅射仪208HR的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多离子溅射仪,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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