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核心参数
产地类别： 进口
主要应用： 半导体晶圆、光掩模、LED面板、薄膜
晶圆尺寸： 4寸/ 6寸/ 8寸/ 12寸
产率： 400WPH
分辨率： 100 nm
检出率： 99%
Fastmicro Particle Defect Inspection System | FM-PDS
品牌：Fastmicro
型号：FM-PDS
产地：荷兰
关键字：颗粒度检测，颗粒污染检测，晶圆表面颗粒度检测
一、产品介绍
荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统专门用于直接、快速检测产品表面颗粒度污染情况，允许检测最小颗粒尺寸100nm。主要应用于半导体领域薄膜、标线片、晶圆表面颗粒度检测或显示领域表面颗粒度检测。基于模块化和可扩展设计，该检测系统的扫描区域可以覆盖非常大的表面，如LCD衬底。
此外，扫描仪模块也可以集成到其它设备中作为OEM解决方案。
二、系统配置
操作模式：半自动/全自动；
样品尺寸：4"/6"/8"/12
检测速度：400 WPH；
分析参数：颗粒数量，位置和尺寸；
分析报告：UI或PDF格式量化报告，满足ISO-14644-9标准；
数据输出：KLARF, XML, Excel & Text文件；
检测阈值：100nm及以上尺寸PSL颗粒；
重复性：99%累积颗粒计数标准颗粒；
尺寸准确性：PSL颗粒20%以内；
定位准确性：40μm精度，15μm定位重复性；
顶部/底部检测：单次同时检测/无需翻转；
控制：全数字控制设备网络-以太网，SECS/GEM；
三、应用领域
荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统可以应用于以下场景：
薄膜检测（正面和背面）
标线片，光掩模
4 / 6 / 8/ 12英寸晶圆（背面、坯件、斜面）
3Di（例如铜与铜的键合）
高纯度关键部件
四、检测模块集成
Fastmicro模块化设计的表面颗粒度检测系统可以根据客户需求集成到客户现有生产线上。可以包含检测模块、清洁模块、上片站、机械臂、检测区和清洁片存放区。
Fastmicro晶圆缺陷光学检测设备FM-PDS的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备FM-PDS的使用方法?
FastmicroFM-PDS多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备FM-PDS可以检测什么？
晶圆缺陷光学检测设备FM-PDS使用的注意事项？
FastmicroFM-PDS的说明书有吗？
Fastmicro晶圆缺陷光学检测设备FM-PDS的操作规程有吗？
Fastmicro晶圆缺陷光学检测设备FM-PDS报价含票含运吗？
FastmicroFM-PDS有现货吗？
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
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