核心参数
产地类别: 进口
测量技术: 双激光波长扫描技术
工作温度: 室温~500℃
FSM薄膜应力与晶圆翘曲度测量仪
薄膜应力测量仪广泛应用于半导体行业薄膜应力的量测。在硅晶圆或者其他材料基底上附着薄膜,由于衬底与薄膜的物理常数不同,将会产生应力而导致衬底基板形变。由均匀附着的薄膜引起的形变表现为基板翘曲,因此,可依据翘曲(曲率半径)的变化量来计算应力。
薄膜应力仪用下述方法测量附着表面上的薄膜引起的基底曲率半径的变化量。
由于是根据在基板上扫描的激光反射角度进行计算,因此,通过测量薄膜附着前后的曲率半径变化,计算其差值,求出曲率半径变化量,用斯托尼公式,依据基板曲率半径计算薄膜应力S。
FSM薄膜应力测量仪的特点:
1)自动切换双波段激光
具有专利的自动激光切换扫描技术.当样品反射率不好时,系统会自动切换到不同波长的另外一只激光进行扫描。这使客户可以测量包括Nitride,Polyimides, Low K,High K,金属等几乎所有的薄膜而不会遇到无法测量的问题。
FSM500加热到500℃进行应力测量,可在加热循环过程中进行薄膜的热稳定性计算
2)2-D & 3-D Map
配备有马达驱动的可旋转载片台,可以快速生成2-D&3D Map图帮助用户可以看到整片晶圆的曲率和应力变化分布,并准确反映出工艺和均匀性有问题的区域。
3)薄膜厚度
可以整合介电材料薄膜的厚度测量功能,使设备变成一台可以在研发和生产环境下灵活使用强大的设备。
产品优势
• 薄膜整体应力与晶圆翘曲测试
• 半导体/LED/太阳能/数据存储/液晶面板产业
• 适用于多种晶圆,基板尺寸
• 桌上型/站立式
• 手动/自动/半自动
• 500℃
• 快速&非接触激光扫描
• 适用生产和研发使用
• 全球销售及客户支持
产品应用
• 新工艺的测试或新生产设备的校准 。化学气相沉积镀膜工艺(CVD), 物理气相沉积镀膜工艺(PVD)
• 工艺的质量控制
• 故障诊断
• 新技术的研究与开发
• 半导体新工艺的研究与开发
• 半导体晶圆薄膜生产: 氮化物, 氧化物, 硅化物, 金属, 低介电常数材料等
• 晶圆碗型翘曲: 晶圆工艺检查或晶圆生产原料检查
• 其他的集成电路工艺: 平板显示器; 微机电系统
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
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浦东新区建韵路500号
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