关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转4306
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
晶圆尺寸： 12寸向下兼容
产品简介
CHEMIXX CMP 30pm是一款专门为晶圆双面清洗设计的系统，独立系统，占地面积小，非常适合有限的空间。具有4路化学液清洗，兆声清洗，PVA刷洗，去离子水冲洗等清洗模块，对晶圆有顶级的清洗能力。
产品特色
÷ 晶圆最大 300mm PVA
÷ 双面清洗双面刷洗
÷ PVA双面刷洗
÷ 支持4路化学液清洗，包括氨水与SCI
÷ 工作台含驱动组件，用于晶圆低速旋转（50-100 rpm）
÷ 化学清洗臂含 4 路化学液
÷ 具有去离子水和稀释氨分配的水坑喷嘴
÷ 具有去离子水的 BSR（背面冲洗）喷嘴
÷ 具有带有流通孔的工艺室
÷ 标配三种不同化学品供应系统
÷ 工艺室外的手动去离子水枪。
÷ 化学液可加热，最高可达 60°C（最高85°C ）
÷ 外部可更换化学液
÷ 支持兆声清洗
÷ 支持高压等离子水冲洗
技术数据
÷ 衬底尺寸: ?200 mm (?8 inch) 或 ?300 mm (?12 inch)
÷ 电机转速: 最大 3.000 rpm, 步长 1rpm
÷ 电机加速: 1 至 999.9 秒，步长 0.1 s
÷ 工艺腔室: 由 PP 白色制成（可选 PVDF)
Osiris化学机械平坦CMP设备CHEMIXX CMP的工作原理介绍
化学机械平坦CMP设备CHEMIXX CMP的使用方法?
OsirisCHEMIXX CMP多少钱一台?
化学机械平坦CMP设备CHEMIXX CMP可以检测什么？
化学机械平坦CMP设备CHEMIXX CMP使用的注意事项？
OsirisCHEMIXX CMP的说明书有吗？
Osiris化学机械平坦CMP设备CHEMIXX CMP的操作规程有吗？
Osiris化学机械平坦CMP设备CHEMIXX CMP报价含票含运吗？
OsirisCHEMIXX CMP有现货吗？
更多
企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号 联系人： 张经理 13818193473 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转4306
仪器信息网APP
展位手机站