核心参数
产地类别: 进口
光谱范围: 190~2750nm
光斑尺寸: 1um
入射角: 38-90°
样品尺寸: 2-12英寸
光谱测试间隔: <0.1nm
膜厚测量准确度: <0.1nm
测量重复性: <0.01nm
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