关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转4306
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
产品简介
UNIXX HTe20型热板是一款桌面型烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），HMDS底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。
产品特色
÷ 温度高达 300°C
÷ 电子驱动升降pin
÷ 支撑pin材料为不锈钢，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)
÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成排烟装置
÷ 通过设置receip自动进行加热处理
主要技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 Φ200 mm (8英寸) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C
÷ 温度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撑pin: Φ50 mm (2英寸) ,最大可达 Φ200 mm(8英寸) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝
÷ 加热盖材质: 不锈钢
可选项
÷ 支撑pin材料
÷ 边缘支撑pin
÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）
÷ 600℃热板
÷ 真空泵
Osiris涂胶显影设备UNIXX HTe20的工作原理介绍
涂胶显影设备UNIXX HTe20的使用方法?
OsirisUNIXX HTe20多少钱一台?
涂胶显影设备UNIXX HTe20可以检测什么？
涂胶显影设备UNIXX HTe20使用的注意事项？
OsirisUNIXX HTe20的说明书有吗？
Osiris涂胶显影设备UNIXX HTe20的操作规程有吗？
Osiris涂胶显影设备UNIXX HTe20报价含票含运吗？
OsirisUNIXX HTe20有现货吗？
更多
企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号 联系人： 张经理 13818193473 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转4306
仪器信息网APP
展位手机站