核心参数
产地类别: 进口
旋转速度: 10000rpm
旋转精度: 1rpm
最大加速度: 4000rpm/s
基片直径: 200mm
腔体直径: 300
产品简介
BASIXX ST20 +是一个台式安装、旋涂、清洗、显影和干燥的半自动系统,旨在为科学和研究用户提供高效、安全和清洁的实验室系统。该设备具有易于使用的7 英寸彩色触摸屏界面。该软件包含配方管理,如编写、编辑、保存和加载。服务区域提供手臂和转盘以及介质控制的设置选项。还汇集了软件更新功能以及可以通过 U盘保存的日志文件和备份功能。在该旋涂系统的设计和结构中,非常重视速度和用户友好性。
产品特色
÷ 作为桌面版本的紧凑型设计
÷ 手动装载/卸载
÷ 衬底最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 软件提供用户友好的操作
÷ 直驱旋涂电机
÷ 全轴电机驱动且完全可编程
÷ 带安全中断传感器透明盖
÷ 外壳上有电源开关 ON / OFF
÷ 可视化真空控制计
÷ 可更换并易于拆卸的工艺碗和防溅环,方便清洁。
÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)
÷ 包含 0.5 升废液瓶
÷ 准备点胶臂和多种其他选择
技术数据
通用
衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
电机转速: 最大 10.000 转数, 以 1 转 步进*
电机加速: 最大 4.000 转/秒*
步进时间: 1 至 999.9 秒,步长为 0.1 秒
加工碗: 由 PP 天然制成
系统架构: 由 PP 白色制成
*取决于卡盘设计、衬底重量和负载
(+) 点胶线 / 可编程输出
3条介质线 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
5条介质线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
要求
电源: 230 (110) VAC / 1 相 / N / PE / 50(60) Hz
真空: -0.8 巴(-80KPa)/ -600 托尔, 管 OD ?6 mm
排气过程: 2 x OD ?38 mm, 大约 30m3/h
氮 (可选): 4 ± 0.2 巴(400±20KPa), PFA 管 OD ?6 mm**
CDA (可选): 8 ± 2 巴(800±200KPa, 管 OD ?8 mm**
**直径取决于配置
尺寸 (宽X深X高)
桌面式系统: 450 x 510/650 x 430 mm, (17.7 x 20.1/25.6 x 16.9 inch)
高度(盖子打开): 760 mm (29.9 inch)
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
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浦东新区建韵路500号
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