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OPTM显微分光膜厚仪是FE-3000反射分光膜厚计的第二代产品。OPTM沿用分光干涉法，可测量绝对反射率、多层膜厚、折射率和消光系数，纳米级测量，精度高。OPTM可用于FPD构件（PI膜、ITO膜、CF膜）、光触媒、汽车零件DLC膜、半导体材料氧化层、光学材料薄膜等材料的无损非接触式测量，检测时间仅需1秒。
产品特点：
◆ 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内
◆ 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
◆ 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
◆ 单点对焦加量测在1秒内完成
◆ 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
◆ 独立测试头对应各种inline定制化需求
◆ 最小对应spot约3μm
◆ 独家专利可针对超薄膜解析n k
产品参数：
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波長範圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚範圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 測定時間 | 1秒 / 1點 | ||
| 光徑大小 | 10μm (最小約5μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源規格 | 氘燈+鹵素燈 | 鹵素燈 | |
| 電源規格 | AC100V±10V 750VA（自動樣品台規格） | ||
| 尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品台規格之主體部分) | ||
| 重量 | 約 55kg（自動樣品台規格之主體部分） | ||
反射对物镜专利：
如果是透明基板，因里面的反射光而无法正确测出膜厚。通过反射対物镜片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可测出高精度的膜厚,特别是对带有光学非均质的基板。
3微米微区测量：
在软件上通过同时显示样品画面和测定光采取部位，可很好的确认到测定点。
特别是对有微小点的形状的样品有效。（最小Φ3μm）
自动高精度mapping样品台：
OPTM标配XY自动平台，仅需输入坐标即可自动多点检测大面积样品，实时获取厚度分布图。平台设有防误触光栏，避免检测过程误触。平台尺寸200mm×200mm，最大可以检测12寸晶圆。
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