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核心参数
产地类别： 进口
仪器类别： 光学图形化缺陷检测设备
主要应用： 晶圆制程监控
晶圆尺寸： 12英寸向下兼容
Park NX-Hybrid WLI
AFM 和 WLI 技术集成系统
用于 200mm至 300mm 晶圆的全自动工业化 AFM-WLI 系统是业内最快捷、最准确、最通用的半导体计量工具。
Park NX-Hybrid WLI 是迄今为止首个内置白光干涉仪轮廓测量的 AFM 系统，可用于半导体元件的研发计量、过程控制和制造质量保证。
Park NX-Hybrid WLI 使用 WLI 模块在相当大的区域提供高吞吐量成像，并使用 AFM 在感兴趣的区域提供亚埃高度分辨率的纳米尺度计量。
Park NX-Hybrid WLI 提供了从大面积扫描到纳米级计量的终极解决方案，适用于各种应用，包括质量保证、自动缺陷检测、前端半导体工艺控制和后端先进封装。
Park NX-Hybrid WLI 无缝集成了自动化工业 AFM 系统和 WLI 轮廓仪。与前两种单独的工具解决方案相比，它能有效地节约成本、减少设备占用空间并能提供全新的最佳计量解决方案。
Park NX-Hybrid WLI可测量亚埃级精度的台阶高度
WLI 和 AFM
半导体计量的两种最佳互补技术
WLI
白光干涉测量是一种光学技术，具有成像区域广、速度快、吞吐量高的优点。
AFM
原子力显微镜是一种扫描探针技术，对所有样品材料（包括透明材料）都能提供最精确的纳米级分辨率测量。
Park 原子力晶圆缺陷光学检测设备NX-Hybrid WLI的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备NX-Hybrid WLI的使用方法?
Park 原子力NX-Hybrid WLI多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备NX-Hybrid WLI可以检测什么？
晶圆缺陷光学检测设备NX-Hybrid WLI使用的注意事项？
Park 原子力NX-Hybrid WLI的说明书有吗？
Park 原子力晶圆缺陷光学检测设备NX-Hybrid WLI的操作规程有吗？
Park 原子力晶圆缺陷光学检测设备NX-Hybrid WLI报价含票含运吗？
Park 原子力NX-Hybrid WLI有现货吗？
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
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