核心参数
仪器种类: 原子力显微镜
产地类别: 进口
仪器类型: 材料型
定位检测噪声: XY≤0.15nm, Z≤0.03nm
样品尺寸: 直径≤100mm, 厚度≤25mm
样品台移动范围: 20mm*20mm
软件: SmartScan
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