核心参数
仪器种类: 原子力显微镜
产地类别: 进口
仪器类型: 工业型
定位检测噪声: 30pm
样品尺寸: 300*300*20mm
样品台移动范围: 300*300mm
自动化工业级原子力显微镜,带来线上晶片检查和测量
Park Systems推出业内超低噪声的全自动化工业级原子力显微镜——XE-Wafer。该自动化原子力显微镜系统旨在为全天候生产线上的亚米级晶体(尺寸200 mm和300 mm)提供线上高分辨率表面粗糙度、沟槽宽度、深度和角度测量。借助True Non-Contact™模式,即便是在结构柔软的样品,例如光刻胶沟槽表面,XE-Wafer可以实现无损测量。
现有问题
目前,硬盘和半导体业的工艺工程师使用成本高昂的聚焦离子束(FIB)/扫瞄式电子显微镜(SEM)获取纳米级的表面粗糙度、侧壁角度和高度。不幸的是,FIB/SEM会破坏样品,且速度慢,成本高昂。
解决方案
NX-Wafer原子力显微镜实现全自动化的在线200 mm & 300 mm晶体表面粗糙度、深度和角度测量,且速度快、精度高、成本低。
益处
NX-Wafer让无损线上成像成为可能,并实现多位置的直接可重复高分辨率测量。更高的精确度和线宽粗糙度监控能力让工艺工程师得以制造性能更高的仪器,且成本显著低于FIB/SEM。
* 应用
串扰消除实现无伪影测量
· 独特的解耦XY轴扫描系统提供平滑的扫描平台
· 平滑的线性XY轴扫描将伪影从背景曲率中消除
· 精确的特征仪表统计功能
CD(临界尺寸)测量
出众的精确且精密纳米测量在提高效率的同时,也为重复性与再现性研究带来高的分辨率和低的仪表西格玛值。
* 精密的纳米测量
媒介和基体亚纳米粗糙度测量
凭借行业超低噪声和创新的True Non-ContactTM模式,XE-Wafer在最平滑的媒介和基体样品上实现最精确的粗糙度测量。
精确的角度测量
Z轴扫描正交性的高精度校正让角度测量时精确度小于0.1度。
沟槽测量
独有的True Non-Contact模式能够线上无损测量小至45 nm的腐蚀细节。
精确的硅通孔化学机械研磨轮廓测量
借助低系统噪声和平滑轮廓扫描功能,Park Systems实现了前所未有的硅通孔化学机械研磨(TSV CMP)轮廓测量。
Park NX-Wafer特点
全自动图形识别
借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件,Park NX-Wafer让全自动图形识别和对准成为可能。
自动测量控制
自动化软件让NX-Wafer的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化,为您提供多位置分析。
真正非接触模式和更长的探针使用寿命
得益于高强度Z轴扫描系统,XE系列原子力显微镜让真正非接触模式成为可能。真正非接触模式借助了原子间的相互吸引力,而非相互排斥力。
因此,在真正非接触模式下,探针与样品间的距离可以保持在几纳米,从而盖上原子力显微镜的图像质量,保证探针针尖的锋利度,延长使用寿命。
解耦的柔性XY轴与Z轴扫描器
Z轴扫描器与XY轴扫描器完全解耦。XY轴扫描器在水平面移动样品,而Z轴扫描器则在垂直方向移动探针。该设置可实现平滑的XY轴测量,让平面外移动降到超低。此外,XY轴扫描的正交性和线性也极为出色。
行业超低的本底噪声
为了检测最小的样品特征和成像最平的表面,Park推出行业本底噪声超低(< 0.5A)的显微镜。本底噪声是在“零扫描”情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时,在如下情况下测量系统噪声:
·0 nm x 0 nm扫描范围,停在一个点
·0.5增益,接触模式
·256 x 256像素
选项
高通量自动化
自动探针更换(ATX)
借助自动探针更换功能,自动测量程序能够无缝衔接。该系统会根据参考图形测量数据,自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能,成功率高达99%,高于传统的真空技术。
设备前端模块(EFEM)实现自动晶体处理
您可以为NX-Wafer加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证XE-Wafer用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。
长距离移动平台,助力化学机械研磨轮廓扫描
该平台带有专有的用户界面,可支持自动化学机械研磨轮廓扫描和分析。平面外运动(OPM)在样品为5 mm时小于2 nm;10 mm时小于5 nm;50 mm时小于100 nm
离子化系统
离子化系统可有效地消除静电电荷。由于系统随时可生产和位置正离子和负离子之间的理想平衡,便可以稳定地离子化带电物体,且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。
Park 原子力扫描探针NX-Wafer的工作原理介绍
扫描探针NX-Wafer的使用方法?
Park 原子力NX-Wafer多少钱一台?
扫描探针NX-Wafer可以检测什么?
扫描探针NX-Wafer使用的注意事项?
Park 原子力NX-Wafer的说明书有吗?
Park 原子力扫描探针NX-Wafer的操作规程有吗?
Park 原子力扫描探针NX-Wafer报价含票含运吗?
Park 原子力NX-Wafer有现货吗?
更多
企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
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浦东新区建韵路500号
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