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SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 椭圆偏振法分别测量高达 2,500 nm 或 3,500 nm 的近红外光谱。它提供最宽的光谱范围、最佳的信噪比和最高的可选光谱分辨率。可以测量厚度达 200 μm 的硅膜。FTIR椭圆偏振仪的测量速度与二极管阵列配置相比，二极管阵列配置也可选择高达1,700 nm。
SENTECH SENresearch 4.0 椭圆偏振光谱仪覆盖从 190 nm（深紫外）到 3,500 nm（NIR）的最宽光谱范围。该器件具有高光谱分辨率，可使用 FTIR 椭圆偏振法分析厚度达 200 μm 的厚膜。
在数据采集过程中没有移动的光学部件，以获得最佳测量结果。步进扫描分析仪 （SSA） 原理是 SENresearch 4.0 光谱椭偏仪的一个功能。
通过创新的 2C 设计扩展了 SSA 原理，可以测量完整的 Mueller 矩阵。2C 设计是一种可现场升级且经济高效的配件。
灵活性和模块化
电动金字塔测角仪的角度范围为 20 度至 100 度。光学编码器确保了最高精度和角度设置的长期稳定性。光谱椭圆仪臂可以独立移动，以进行散射测量和角度分辨透射测量。
该工具根据步进扫描分析仪 （SSA） 原理运行。SSA将强度测量与机械运动分离，从而可以分析粗糙的样品。在数据采集过程中，所有光学部件都处于静止状态。此外，SENTECH SENresearch 4.0 包括用于映射和原位应用的快速测量模式。
SENresearch 4.0 的定制椭圆仪可以针对标准和高级应用进行配置。例如介电层堆栈、纹理表面以及光学和结构 （3D） 各向异性样品。为各种应用提供了预定义的配方。
SpectraRay/4 是该工具的综合光谱椭偏仪软件。它包括两种操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允许轻松执行常规应用程序。交互模式通过交互式图形用户界面引导椭圆测量。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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