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通过搭载 OPTSWING 系统,实现高速扫描提高产能。 小片到 8inch 晶圆均可对应。 搭载 Top-hat Beam,确保界面内温度的均一性。 通过温度模拟技术,优化退火条件。 各种监控机能完备(氧气浓度,Beam 形状等)
产品货期: 365天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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