全自动化学机械抛光机
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spp

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亚洲

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核心参数

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SPP-600S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有特的软件和触摸屏,使用操作方便。


售后服务承诺

产品货期: 365天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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