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GWS-晶圆外延缺陷检测系统
从操作员的目视检查到检测设备的自动化
1) 超越目视检查水平的检测性能
2) 缺陷位置的可视化以及缺陷图像可存储化
3) 可对应OHT 和 MES
产品货期: 365天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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品牌:赛默飞
型号:Trace1300 E