看了晶圆缺陷光学检测设备的用户又看了
产品名称:晶圆厚度/电阻率测试仪
品牌:E+H Metrology
型号:MX604-ST
关键词:电阻率,厚度
一、简介
德国 E+H Metrology,简称E+H,成立于1968年,位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。厚度和电阻率测量仪组合,MX604-ST配置了同时测量厚度和电阻率的传感器,用于2“ 至 200mm 的晶圆电阻率和厚度测量。
二、技术规格
晶圆尺寸:2" 至 8" (方形或近方形)
厚度范围:60 - 300µm 或 250 - 750µm
厚度精度:±1μm
传感器直径:20 毫米
有效区域直径:8 毫米
距边缘的距离:10 毫米
测量时间:0.3秒
软件:EHMaster
方块电阻:10-2000Ω/sq
电阻率范围:
0.25 – 50 Ohm•cm (thk.= 250μm)
0.75 – 150 Ohm•cm (thk. = 750μm)
三、应用
用于硅片及SiC等晶圆的厚度和电阻率测量。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
E+H Metrology晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST的使用方法?
E+H MetrologyMX 604-ST多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST可以检测什么?
晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST使用的注意事项?
E+H MetrologyMX 604-ST的说明书有吗?
E+H Metrology晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST的操作规程有吗?
E+H Metrology晶圆缺陷光学检测设备MX 604-ST报价含票含运吗?
E+H MetrologyMX 604-ST有现货吗?
最多添加5台