看了晶圆缺陷光学检测设备的用户又看了
以下是详细列出的文字信息:
样品台规格:
样品台尺寸:Φ160mm
最大工件尺寸:Φ200mm
最大工件厚度:52mm
最大工件重量:2kg
纵向调整范围:2.5" (±5mm/160mm)
样品台材质:黑色硬质铅
手动旋转:360°(手动粗调)、±5°(微调,最小约0.5°)
传感器参数:
原理:光栅式传感器
Z方向测定范围:Max. 600μm
Z方向最小分辨率(随放大倍率变化):
x5,000倍时:10nm ±300μm
x10,000倍时:5nm ±160μm
x20,000倍时:2.5nm ±80μm
x50,000倍时:1nm ±32μm
x100,000倍时:0.5nm ±16μm
x200,000倍时:0.25nm ±8μm
x500,000倍时:0.1nm ±3.2μm
x1,000,000倍时:0.05nm ±1.6μm
x2,000,000倍时:0.025nm ±0.8μm
测定力:10μN~500μN
触针半径:2μm 60° 钻石针头(另有多种可选)
驱动方式:直流伺服
重复性:te = 0.2nm (1μm以下台阶时)
X轴(基准轴/测量轴)参数:
移动量(最大行程):100mm (±50mm)
直线度:0.2μm/100mm (全量程),5nm/5mm (局部)
移动速度:0.005~20mm/s
线性度(linear scale):X方向分辨率 0.1μm
位置重复误差:±5nm
以下是详细列出的机械臂参数和功能:
Z轴参数:
移动量:54mm
移动速度:最大2.0mm/S
检出器自动停止机能
Y轴参数(手动定位用):
移动量:25mm(±12.5mm)
工作观察参数:
彩色1/3"CCD,配备x4物镜倍率
综合倍率:约320倍(使用19"显示器时)
视野范围:1.2mm x 0.9mm
观察方向:右侧斜视
照明系统:白色LED,支持软件调整明暗度
软件功能简介:
型号:i-STAR31
可设定测量条件菜单、重复测量设定及解析菜单
支持设定下针坐标,实现定位后自动测量及解析功能
配备低通滤波功能,有效过滤噪音及杂讯
具有返回测量起始点功能
显示倍率范围:垂直方向502,000,000倍,纵方向110,000倍
强大的解析功能,包括主要图形、段差解析、粗糙度解析、内应力分析及多种段差解析选项
其他参数:
床台材质:一体花岗岩
防振台(选购):提供落地型或桌上型选项
电源规格:AC220V±10%,50/60HZ,300VA
本体外观尺寸及重量:W500×D440×H610mm,重120kg,采用一体花岗岩低重心结构设计(不含防振台)
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
小坂研究所晶圆缺陷光学检测设备微型轮廓仪(光学检测)的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备微型轮廓仪(光学检测)的使用方法?
小坂研究所微型轮廓仪(光学检测)多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备微型轮廓仪(光学检测)可以检测什么?
晶圆缺陷光学检测设备微型轮廓仪(光学检测)使用的注意事项?
小坂研究所微型轮廓仪(光学检测)的说明书有吗?
小坂研究所晶圆缺陷光学检测设备微型轮廓仪(光学检测)的操作规程有吗?
小坂研究所晶圆缺陷光学检测设备微型轮廓仪(光学检测)报价含票含运吗?
小坂研究所微型轮廓仪(光学检测)有现货吗?
最多添加5台