关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转4552
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
清洗方法： 湿法清洗
产地类别： 进口
设备类型： 单晶圆清洗
晶圆尺寸： 4-12
相关技术： 融合和混合键合系统
尺寸： 2400*4720*2555
适用制程、应用范围： 在Co-D2W结合,多个模具转移到最终的晶片在一个处理步骤。
产能： 150/H
EVG®320 Automated Single Wafer Cleaning System
EVG®320 自动化单晶圆清洗系统
自动单晶片清洗系统，可有效去除颗粒
EVG320自动化单晶圆清洗系统可在处理站之间自动处理晶圆和基板。 机械手处理系统可确保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自动预对准和装载晶圆。 除了使用去离子水冲洗外，配置选项还包括兆频，刷子和稀释的化学药品清洗。
特征
多达四个清洁站
全自动盒带间或FOUP到FOUP处理
可进行双面清洁的边缘处理（可选）
使用1 MHz的超音速喷嘴或区域传感器（可选）进行高效清洁
先进的远程诊断
防止从背面到正面的交叉污染
完全由软件控制的清洁过程
EVG320技术数据
晶圆直径（基板尺寸）200、100-300毫米
清洁系统
开室，旋转器和清洁臂
腔室：由PP或PFA制成（可选）
清洁介质：去离子水（标准），其他清洁介质（可选）
旋转卡盘：真空卡盘（标准）和边缘处理卡盘（选件），由不含金属离子的清洁材料制成
旋转：最高3000 rpm（5秒内）
超音速喷嘴：频率：1 MHz（3 MHz选件）；输出功率：30-60 W；
去离子水流量：最高1.5升/分钟；有效清洁区域：?4.0 mm；材质：聚四氟乙烯
兆声区域传感器：可选的；
频率：1 MHz（3 MHz选件）
输出功率：最大2.5 W /cm2有效面积（最大输出200 W）
去离子水流量：最高1.5升/分钟
有效的清洁区域：三角形，确保每次旋转时整个晶片的辐射均匀性
材质：不锈钢和蓝宝石；材质：PVA
EVG湿法清洗设备EVG 320 自动化单晶圆清洗系统的工作原理介绍
湿法清洗设备EVG 320 自动化单晶圆清洗系统的使用方法?
EVGEVG 320 自动化单晶圆清洗系统多少钱一台?
湿法清洗设备EVG 320 自动化单晶圆清洗系统可以检测什么？
湿法清洗设备EVG 320 自动化单晶圆清洗系统使用的注意事项？
EVGEVG 320 自动化单晶圆清洗系统的说明书有吗？
EVG湿法清洗设备EVG 320 自动化单晶圆清洗系统的操作规程有吗？
EVG湿法清洗设备EVG 320 自动化单晶圆清洗系统报价含票含运吗？
EVGEVG 320 自动化单晶圆清洗系统有现货吗？
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
仪器信息网APP
展位手机站