核心参数
曝光模式: 接近式
产地类别: 进口
分辨率: 与EVG的大批量生产粘合系统完全兼容
光源: 兼容EVG机械和光学对准器
光源波长: 各种工艺(共晶,焊料,TLP,直接粘合)
光强均匀性: 独特的压力和温度均匀性
曝光面积: 用于研发或小批量生产的晶圆键合系统-与大批量生产设备完全兼容
EVG®6200 BA自动键对准系统
用于晶圆间对准的自动化键合对准系统,用于中试和批量生产
EVG粘合对准系统提供了最高的精度,灵活性和易用性,模块化升级功能,并且已经在众多高通量生产环境中进行了认证。 EVG键对准器的精度可满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中最苛刻的对准过程。
特征
适用于所有EVG 200 mm粘合系统
支持最大200 mm晶片尺寸的双晶片或三晶片堆叠的键合对准
手动或电动对中平台,带有自动对中选项
全电动高分辨率底面显微镜
基于Windows®的用户界面
选件
自动对齐
红外对准,用于内部基板键对准
NanoAlign®封装可增强处理能力
可与系统机架一起使用
面罩对准器的升级可能性
技术数据
常规系统配置
桌面
系统机架:可选
隔振:被动
对准方法:背面对齐:±2 μm 3σ; 透明对准:±1 μm 3σ
红外校准:选件
对准阶段:精密千分尺:手动; 可选:电动千分尺
楔形补偿:自动
EVG激光直写光刻机EVG®6200 BA自动键对准系统的工作原理介绍
激光直写光刻机EVG®6200 BA自动键对准系统的使用方法?
EVGEVG®6200 BA自动键对准系统多少钱一台?
激光直写光刻机EVG®6200 BA自动键对准系统可以检测什么?
激光直写光刻机EVG®6200 BA自动键对准系统使用的注意事项?
EVGEVG®6200 BA自动键对准系统的说明书有吗?
EVG激光直写光刻机EVG®6200 BA自动键对准系统的操作规程有吗?
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EVGEVG®6200 BA自动键对准系统有现货吗?
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)