核心参数
曝光模式: 接近式
产地类别: 进口
分辨率: 0.5um以上
光源: 汞灯
光源波长: 紫外光
光强均匀性: ±0.4%
曝光面积: 12 英寸(standard)
HERCULES®Lithography Track System
HERCULES® 光刻跟踪系统
HERCULES®是一个高容量平台,将整个光刻工艺流程集成到一个系统中,从而减少了工艺尺寸并减少了操作员的支持。
技术数据
HERCULES基于模块化平台,将EVG成熟的光学掩模对准技术与集成的晶圆清洗,抗蚀剂涂层,烘烤和抗蚀剂显影模块相结合。 HERCULES支持各种晶片尺寸的盒到盒处理。 HERCULES安全地处理厚,弯曲度高,矩形,小直径的晶片甚至设备托盘。精密的顶侧和底侧对准以及亚微米至超厚(最大300微米)抗蚀剂的涂层可用于夹层和钝化应用。出色的对准台设计可实现高产量的高精度对准和曝光结果。
特征
生产平台将EVG精确对准和抗蚀剂处理系统的所有优点结合在一起,以最小的占地面积
多功能平台支持各种形状,尺寸,高度翘曲的模具晶片甚至托盘的全自动处理
高达52,000 cP的涂层可制造高度高达300微米的超厚抗蚀剂特征
CoverSpinTM旋转盖可降低抗蚀剂消耗并优化抗蚀剂涂层的均匀性
OmniSpray®涂层可优化高地形表面的涂层
NanoSpray®用于涂覆和保护通孔结构
自动面膜处理和存储
光学边缘曝光和/或溶剂清洁以去除边缘珠
使用桥接工具系统对多种尺寸的晶圆进行易碎,薄或翘曲的晶圆处理
返工分拣晶圆管理和灵活的盒式系统
多用户概念(无限数量的用户帐户和配方,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
技术数据
对齐方式:
上侧对齐:≤±0.5 μm 底侧对齐:≤±1,0 μm
红外校准:≤±2,0 μm /基板材料,具体取决于
先进的对齐功能:手动对齐、 自动对齐、 动态对齐、 对准偏移校正
自动交叉校正/手动交叉校正、大间隙对齐
EVG激光直写光刻机HERCULES® 光刻跟踪系统的工作原理介绍
激光直写光刻机HERCULES® 光刻跟踪系统的使用方法?
EVGHERCULES® 光刻跟踪系统多少钱一台?
激光直写光刻机HERCULES® 光刻跟踪系统可以检测什么?
激光直写光刻机HERCULES® 光刻跟踪系统使用的注意事项?
EVGHERCULES® 光刻跟踪系统的说明书有吗?
EVG激光直写光刻机HERCULES® 光刻跟踪系统的操作规程有吗?
EVG激光直写光刻机HERCULES® 光刻跟踪系统报价含票含运吗?
EVGHERCULES® 光刻跟踪系统有现货吗?
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)