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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 8寸
温度范围： 1350℃
最高升温速率： 150K
降温速率： 150K
退火温度准确性： ±1度
退火温度均匀性： ±1度
Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150
一、产品简介
德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。Centrotherm Oxidator 150 经过专业的研发, 能够满足 SiC 圆片的高温氧化工艺; 同时亦可用于常规的硅圆片的氧化。Centrotherm Oxidator 150 卓越的反应腔具有性能高、占地小和生产成本低等特点，为客户提供最高的工艺灵活度, 同时能够保证有毒气体的安全使用。
设备特点：
炉管和加热器均处于真空密闭反应腔内，上下料腔室可用Ar或 N2 进行吹扫，可以保证有毒气体（如 NO、N2O、H2、NO2 等） 的安全使用。
氧化工艺使用 N2O 气氛，可以改善 SiO2/SiC 接触表面以获得更高的通道迁移率，同时可提高SiC表面氧化物的稳定性和寿命。
提供带有氢氧合成系统的湿氧工艺。
高达 1350 ℃ 的温度和其他支持功能为 SiC 氧化工艺和低界面陷阱密度, 高通道移动率的氧化层研制提供可能。
二、适用工艺
高温SiC或Si氧化
氧化后退火（氢气环境）
三、产品特性
性能
圆片尺寸： 2″、3″、4″、6″
工艺温度： 900 ℃ ~ 1350 ℃
真空度： 小于10-3 mbar
占地面积小： 1.8m2
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退火炉Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150的使用方法?
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Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150有现货吗？
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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