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核心参数
曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： .最小线宽＜7nm
光源： 电子束
光源波长： 电子束直径＜1.6nm
光强均匀性： ±0.1
曝光面积： 4-8 英寸(standard)，12 英寸(option)
Electron Beam Lithography System(EBL)
电子束光刻系统
应用领域广泛，如微纳器件加工，Si/GaAs 兼容工艺，研究用掩膜制造，纳米加工（例如单电子器件、量子器件制作等），高频电子器件中的混合光刻（Mix & Match），图形线宽和图形位移测量等。
超高分辨率的电子束光刻
技术参数：
加速电压：最高 130keV
单段加速能力达到 130keV，尽量减少电子枪的长度超短电子枪长度，无微放电
电子束直径＜1.6nm 最小线宽＜7nm
双热控制，实现超稳定直写能力
准确度低于10 nm。您可以根据自己的需要选择90kV，HOkV或130kV。
光束直径：<1.6nm①
最小线宽：7 nm（在130kV时）
加速电压：130 kV，110 kV或90 kV
载物台尺寸：8英寸晶圆（可以使用少于8英寸晶圆的任何其他晶圆）
我的特色
?Vacc：最大130kV（25-130kV，5kV步进）
?单级加速能力高达130kV，以最小化EOC尺寸
?无放电电子枪
?光束直径：> 1.6nm
?细线能力：<7nm
?发射极和阳极之间的静电透镜设计为在消隐电极的中心实现非常低的像差和近距离交叉图像
?使用双热控制器实现超稳定的写入能力
I规格
激光直写光刻机亚科电子的工作原理介绍
激光直写光刻机亚科电子的使用方法?
亚科电子多少钱一台?
激光直写光刻机亚科电子可以检测什么？
激光直写光刻机亚科电子使用的注意事项？
亚科电子的说明书有吗？
激光直写光刻机亚科电子的操作规程有吗？
激光直写光刻机亚科电子报价含票含运吗？
亚科电子有现货吗？
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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