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核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 高达300 mm x 300 mm
工艺温度： 50-500℃
前驱体数： 4根独立源管线，最多加载6个前驱体源
重量： 1000KG
尺寸(W x H x D)： 149 cm x 191 cm x 111 cm
均匀性： 2%
PICOSUN原子层沉积系统ALD
PICOSUN®Morpher
PICOSUN®Morpher ALD产品平台旨在颠覆Beyond和超越摩尔技术中的200毫米晶圆产业。它以领先的过程质量，可靠性和操作敏捷性，实现了MEMS，传感器，LED，激光器，功率电子器件，光学器件和5G组件的快速，全自动，高通量生产。从公司研发到生产和铸造制造的所有业务领域，Morpher都能适应您行业不断变化的需求和客户的需求。基质材料，基质和批量大小方面的领先多功能性以及广泛的工艺范围，使Morpher真正成为可转变的，包罗万象的制造设施，使您始终引领行业。
PICOSUN®Morpher设计用于结合行业标准的单晶圆真空集群平台来全自动处理晶圆批次。的获得专利的晶圆批量翻转机制使该系统能够与半导体生产线集成，在该生产线中，大多数处理都是在水平几何结构中进行的，并且SEMI S2 / S8认证可确保该系统与业界zui严格的标准兼容。
PICOSUN®Morpher ALD系统可通过SECS / GEM协议集成到工厂自动化中，而zui先进的软件可通过直观，精简的图形用户界面为系统提供简单，安全和无故障的操作。凭借我们获得专利的双室，热壁反应器设计以及完全分离的前驱体导管和入口，我们可以创造出zui高质量的ALD膜，具有优异的产率，低颗粒水平以及出色的电学和光学性能。紧凑的，符合人体工程学的设计以及便捷的维护，确保了系统停机时间zui少，市场拥有成本zui低。
原子层沉积PICOSUN®Morpher的工作原理介绍
原子层沉积PICOSUN®Morpher的使用方法?
PICOSUN®Morpher多少钱一台?
原子层沉积PICOSUN®Morpher可以检测什么？
原子层沉积PICOSUN®Morpher使用的注意事项？
PICOSUN®Morpher的说明书有吗？
原子层沉积PICOSUN®Morpher的操作规程有吗？
原子层沉积PICOSUN®Morpher报价含票含运吗？
PICOSUN®Morpher有现货吗？
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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