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核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 高达300 mm x 300 mm
工艺温度： 50-500℃
前驱体数： 4根独立源管线，最多加载6个前驱体源
重量： 1000KG
尺寸(W x H x D)： 149 cm x 191 cm x 111 cm
均匀性： 2%
PICOSUN原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300S
PICOSUN®P-300S ALD系统是专门为生产IC组件（例如微处理器，存储器和硬盘驱动器）而设计的，并且还适用于MEMS设备（例如打印头，传感器和麦克风）。
PICOSUN®P-300 ALD系统已成为大批量ALD制造中的新标准。通过将我们的专利热墙设计与完全分开的入口集成在yi起，我们可以生产出具有优异产量，低颗粒水平以及卓越的电学和光学性能的zui高质量的ALD膜。灵活的设计以及易于快速的维护，确保了系统停机时间zui少，市场拥有成本zui低。我们专有的Picoflow™扩散增强剂技术可通过经过生产验证的工艺，在超高深宽比的基材上实现高度保形的涂层。
PICOSUN®P-300S ALD系统代表了工业ALD的尖端。该系统旨在与行业标准真空集群平台结合使用，对单个晶圆进行全自动处理。可以通过SECS / GEM选件将SEMI S2 / S8认证的P-300S ALD系统集成到工厂自动化中，它们可以满足半导体行业zui严格的清洁度要求。
PICOSUN®P-300S是IC创新驱动行业的首选ALD系统。
原子层沉积PICOSUN®P-300S的工作原理介绍
原子层沉积PICOSUN®P-300S的使用方法?
PICOSUN®P-300S多少钱一台?
原子层沉积PICOSUN®P-300S可以检测什么？
原子层沉积PICOSUN®P-300S使用的注意事项？
PICOSUN®P-300S的说明书有吗？
原子层沉积PICOSUN®P-300S的操作规程有吗？
原子层沉积PICOSUN®P-300S报价含票含运吗？
PICOSUN®P-300S有现货吗？
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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