核心参数
产地类别: 进口
衬底尺寸: 高达300 mm x 300 mm
工艺温度: 50-500℃
前驱体数: 4根独立源管线,最多加载6个前驱体源
重量: 1000KG
尺寸(W x H x D): 149 cm x 191 cm x 111 cm
均匀性: 2%
PICOSUN原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300BV
PICOSUN®P-300BV ALD系统是专门为生产LED,分立器件和MEMS设备(例如打印头,传感器和麦克风)而设计的。
PICOSUN®P-300 ALD系统已成为大批量ALD制造中的新标准。通过将我们的专利热墙设计与完全分开的入口集成在yi起,我们可以生产出具有优异产量,低颗粒水平以及卓越的电学和光学性能的zui高质量的ALD膜。灵活的设计以及易于快速的维护,确保了系统停机时间zui少,市场拥有成本zui低。我们专有的Picoflow™扩散增强剂技术可通过经过生产验证的工艺,在超高深宽比的基材上实现高度保形的涂层。
PICOSUN®P-300BV ALD系统代表了工业ALD的尖端。该系统设计用于半自动处理晶圆批次。该工具针对快速批量生产进行了优化,可以通过SECS / GEM选件集成到工厂自动化中。带有加热选件的真空加载系统能够对敏感基材进行清洁处理,并沉积诸如金属氮化物之类的材料。
原子层沉积原子层沉积系统ALD 的工作原理介绍
原子层沉积原子层沉积系统ALD 的使用方法?
原子层沉积系统ALD 多少钱一台?
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企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)