核心参数
产地类别: 进口
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500
SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备,特别针对III-V半导体和微光学应用
主要特点:
高速率刻蚀
低损伤
高深宽比
高一致性
平板三螺旋天线式PTSA等离子源(P)lanar (T)riple (S)piral (A)ntenna
远程控制
应用领域:III-V半导体化合物,微光学,微系统
SENTECH高级等离子设备操作软件
穿墙式安装方式
干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统
系统配置:
PTSA ICP等离子源 (13.56 MHz, 1200 W),集成自动匹配网络。
RF偏置(13.56 MHz, 600 W)
循环进气,集成到PTSA源内
高速率真空泵系统,独立气流压强控制
电子束刻蚀ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500的工作原理介绍
电子束刻蚀ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500的使用方法?
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500多少钱一台?
电子束刻蚀ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500可以检测什么?
电子束刻蚀ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500使用的注意事项?
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500的说明书有吗?
电子束刻蚀ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500的操作规程有吗?
电子束刻蚀ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500报价含票含运吗?
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500有现货吗?
企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)