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美Nano-master 大基片清洗机 LSC-4000

品牌：那诺-马斯特

产地：美国

型号： LSC-4000

报价： ¥10万 - 20万

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那诺-马斯特光学平台LSC-4000的工作原理介绍光学平台LSC-4000的使用方法?
那诺-马斯特LSC-4000多少钱一台?光学平台LSC-4000可以检测什么？
光学平台LSC-4000使用的注意事项？那诺-马斯特LSC-4000的说明书有吗？
那诺-马斯特光学平台LSC-4000的操作规程有吗？那诺-马斯特光学平台LSC-4000报价含票含运吗？
那诺-马斯特LSC-4000有现货吗？

核心参数

产地类别：进口

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产品介绍

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美Nano-master 大基片清洗机 Large Substrate Cleaning :LSC-4000

NANO-MASTER大基片清洗机（LSC）是一款独立式清洗机，使用计算机控制，最大可支持外径21”的基片。
通过前方面板上的触摸屏和LabView用户界面，与SWC系统相比可以提供更强大的控制，并允许用户控制访问等级，比如操作者、工艺工程师和维护工程师。跟SWC一样，LSC集成了同样的专利技术的兆声技术和化学试剂分布。

LabView控制和更大工艺腔体的组合支持额外的选配项，诸如臭氧化去离子水、高压去离子水、带保护膜的分划板清洗、以及白骨化清洗。单晶圆和Cassette-to-Cassette自动上下片可选。其中可以通过定制托盘一次放入多片小片实现批处理。

特点：

** 最大可支持21”外径，15”x15”方片和450mm的晶圆
** 无损兆声清洗
** 不同转速的PVA刷子
** 带回吸阀的化学试剂分布
** 双排放口用于酸和试剂的分开排放
** 全自动计算机控制，菜单驱动
** 基于LabVIEW的触摸屏友好用户界面
** 手动上下片
** 安全联锁和报警
** 32”x28”的占地面积

选配：

** 带保护膜的分划板清洗
** 双面刷子和兆声清洗
** 化学试剂传输模块
** 化学试剂瓶的泄漏检测传感器
** 白骨化清洗
** 臭氧化去离子水(20ppm O3)
** 高压去离子水
** 加热的去离子水
** 氮离子发生器
** 带去离子水电阻率监控的CO2注入
** FM4910防火灾材料
** 机械手上下片，带SMIF传送盒

应用：

** 硅晶圆及蓝宝石晶圆清洗
** 晶圆框架上的切割芯片清洗
** 显示面板清洗
** ITO涂覆的显示屏
** 带图案或不带图案的掩模板清洗
** 掩模板光板清洗
** 接触掩模版清洗

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次

保内维修承诺：经确认质量问题免费更换

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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那诺-马斯特光学平台LSC-4000的工作原理介绍

光学平台LSC-4000的使用方法?

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光学平台LSC-4000可以检测什么？

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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

客服电话

400-860-5168转4527

深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供那诺-马斯特美Nano-master 大基片清洗机 LSC-4000，那诺-马斯特LSC-4000产地为美国，属于进口光学平台，除了美Nano-master 大基片清洗机 LSC-4000的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学平台,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。

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公司地址：深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人：廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527

主营产品：

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