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百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21（多功能超高精度电子束光刻机P21）

品牌：百及纳米

产地：德国

型号： P21

报价：面议

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百及纳米光学平台P21的工作原理介绍光学平台P21的使用方法?
百及纳米P21多少钱一台?光学平台P21可以检测什么？
光学平台P21使用的注意事项？百及纳米P21的说明书有吗？
百及纳米光学平台P21的操作规程有吗？百及纳米光学平台P21报价含票含运吗？
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核心参数

产地类别：进口

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产品介绍

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电子束光刻机（多功能超高精度电子束光刻机P21）

依托垄断性专利技术，百及纳米推出国际领先的超高精度大面积写场电子束光刻机 P21 系列。百及纳米首次开发了新一代电子束光刻机的电子束闭环控制新原理。百及超高精度电子束光刻机 P21 是第一款新一代电子束光刻机的代表，在著名电子束光刻机制造商德国 Raith 公司的成熟机型上升级而成。该系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三个型号，区别主要在于样品尺寸（2，4，6 英寸晶圆）及扩展使用功能。P21 不仅完整地保留了原电子束光刻机的整体功能，且集多项国际领先的关键指标于一身，包括：

• 国际上首次开发的新颖电子束闭环控制系统，能够实现电子束的原位检测与校正;

• 国际领先的写场拼接精度≤2 nm;

• 电子束光刻的长期稳定性。精确校正电子束的空间漂移，将其位置稳定性提高到≤10 nm/h；有利于通过提高电子束光刻时间实现大尺寸图形的曝光需求。

百及纳米的 P21 系列以常规电子束光刻机为载体，通过独家专利技术对其进行功能及性能指标的大幅提升。P21 光刻机组件均为德国原装制造，以高品质、高性能满足客户的科研高端需求，实现新一代超高精度电子束光刻功能。

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售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次

保内维修承诺：经确认质量问题免费更换

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

联系方式

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址

深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

客服电话

400-860-5168转4527

深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21（多功能超高精度电子束光刻机P21），百及纳米P21产地为德国，属于进口光学平台，除了百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21（多功能超高精度电子束光刻机P21）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供日本RION液体光学颗粒度仪KS-42B/42BF、日本RION气体粒子计数器KC-20A、液体光学颗粒度仪,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。

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主营产品：

化学气相沉积设备原子层沉积设备无掩模光刻机/直写光刻机电子束曝光机有掩模光刻机纳米压印设备匀胶机

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