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核心参数
产地类别: 进口
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EVG610掩膜光刻机
EVG610是一款非常灵活的适用于研发和小批量试产的对准系统,可处理最大200mm之内的各种规格的晶片。EVG610支持各种标准的光刻工艺,例如:真空、软、硬接触和接近曝光;也支持其他特殊的应用,如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。系统中的工具更换非常简便快捷,每次更换都可在一分钟之内完成,而不需要专门的工程人员和培训,非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。
二、设备原理
通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分去除。在此之后,晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜,最终在晶圆上保留特征的图形部分。
三、功能及用途
通过光化学反应实现从掩膜板到基片的图形转移,使在光刻胶样品上形成微米级精细图形,用于芯片微纳米尺度结构电子线路设计。
四、应用范围
EVG光刻机主要应用于MEMS、硅片凸点、芯片级封装以及化合物半导体、功率器件和光伏市场。
三、主要特点
1. 最大化的降低使用者的总体拥有成本;
2. 支持背面对准光刻和键合对准工艺
3. 自动的微米计控制曝光间距
4. 自动契型补偿系统
5. 优异的全局光强均匀度
6. 免维护单独气浮工作台
7. 最小化的占地面积
8. Windows图形化用户界面
9. 完善的多用户管理(用户权限、界面语言、菜单和工艺控制)
四、技术参数
光学平台EVG610的工作原理介绍
光学平台EVG610的使用方法?
EVG610多少钱一台?
光学平台EVG610可以检测什么?
光学平台EVG610使用的注意事项?
EVG610的说明书有吗?
光学平台EVG610的操作规程有吗?
光学平台EVG610报价含票含运吗?
EVG610有现货吗?
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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公司名称: 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址: 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人: 廖敬强 13538131258,徐翠兰15915408056 邮编: 518104 联系电话: 400-860-5168转4527
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