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核心参数
产地类别： 进口
EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能）
EVG 公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商，其丰富的产品系列包括：涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/
低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。目前已有数千台设备安装在世界各地，被广泛地应用于 MEMS 微机电系统/微流体器件，SOI 基片制造，3D 封装，纳米压印，化合物半导体器件和功率器件等领域。
设备原理：
EVG620 是一款非常灵活和可靠的光刻设备，可配置为半自动也可以为全自动形式。EVG620 既可以用作双面光刻机也可以用作 150mm 硅片的精确对准设备；既可以用作研发设备，也可以用作量产设备。精密的契型补偿系统配以计算机控制的压力调整可以确保良率和掩膜板寿命的大幅提升，进而降低生产成本。EVG620 先进的对准台设计在保证精确的对准精度和曝光效果的同时，可以大幅提高产能。
应用范围
EVG 光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、微波器件及微电子机械系统（MEMS）、硅片凸点、化合物半导体等领域，涵盖了微纳电子领域微米或亚微米级线条器件的图形光刻应用。
主要特点及技术参数:
1、主要特点：
。 双面对准光刻和键合对准工艺
。自动的微米计控制曝光间距
。自动契型补偿系统
。 优异的全局光强均匀度
。免维护单独气浮工作台
。 高度自动化系统
。快速更换不同规格尺寸的硅片
。 可选配 Nanoalign 技术包以达到更高的工艺能力
。 薄硅片或翘曲硅片处理系统可选
。 Windows 图形化用户界面
。 完善的多用户管理（用户权限、界面语言、菜单和工艺控制）
。 光刻工艺模拟软件可选
。三花篮上料台，可选五花篮台
2、技术参数
EVG光学平台EVG620的工作原理介绍
光学平台EVG620的使用方法?
EVGEVG620多少钱一台?
光学平台EVG620可以检测什么？
光学平台EVG620使用的注意事项？
EVGEVG620的说明书有吗？
EVG光学平台EVG620的操作规程有吗？
EVG光学平台EVG620报价含票含运吗？
EVGEVG620有现货吗？
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
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