核心参数
产地类别: 进口
Load-Lock Type Sputtering System 返回式真空溅射装置 CS-200z
装置外观·功能
CS-200z
CS-200z外观-装置正面 CS-200z外观-腔体打开 是高真空交直流溅射设备.适用于金属、合金 、陶瓷材料的高品质溅射成膜.
托盘方式外观
托盘方式:Ti材质托盘,任意形状wafer兼容.
设备构成概览
装置基本配置:
装置优势性能-1-省空间
占地面积: 占地面积小,含操作维护空间1500×4500mm
装置优势性能-2-高集成化设计
搬运方式: 装置集成化设计,搬运省时便捷.
装置优势性能-3-兼容好
Φ2、3、4…inch Ti Tray(Φ320mm ) 50*50 、 X*X Ti Tray (50*50) 基板兼容性: 任意形状基片兼容,只需更换托盘.
装置优势性能-4-操作方便
操作: ULVAC GPCS-2700 system onboard! PLC control + PC interface
装置优势性能-5-对话界面简洁
对话界面: english通用版.简洁易识别. 装置所有机构界面上都有显示,也可以操作.
装置优势性能-6-工艺菜单编辑简单
工艺菜单编辑界面:english版.操作简单易识别.
装置优势性能-7-log 功能
数据LOG: PC保存,可以导出EXCEL格式,便于分析.
装置优势性能-8-参数
装置施设参数
施设要求: 点击查看详细.
装置生产现场-无尘车间
生产现场:
装置在无尘车间中生产,保证真空设备高品质.
光学平台CS-200Z的工作原理介绍
光学平台CS-200Z的使用方法?
CS-200Z多少钱一台?
光学平台CS-200Z可以检测什么?
光学平台CS-200Z使用的注意事项?
CS-200Z的说明书有吗?
光学平台CS-200Z的操作规程有吗?
光学平台CS-200Z报价含票含运吗?
CS-200Z有现货吗?
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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