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核心参数
曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： 详见资料
光源： 详见资料
光源波长： 详见资料
光强均匀性： 详见资料
曝光面积： 详见资料
奥地利EVG键合机：EVG520IS
一、设备原理：
EVG520IS是一款设计用于小批量生产的半自动晶圆键合系统， 最大硅片允许尺寸为200mm。集EVG最新技术及客户反馈基础上设计的EVG520IS，配备了EVG公司的专利吸盘设计---这种吸盘可以提供对称的快速加热和冷却功能。EVG520IS的很多优势特性，如独立的上下盘加热和高压键合工艺、高度的材料和工艺灵活性等，都帮助客户很好的实施键合研究和生产。
二、应用范围
主要应用于MEMS制造、微流体芯片、化合物半导体异质结键合、晶圆级先进封装以及3D互联、TSV工艺。
三、主要特点及技术参数：
1、主要特点：
精确的硅片低压契型补偿系统以提高良率
优异的温度压力均匀性
工艺菜单与其他键合系统通用
。手动上料和下料台，全自动工艺过程，外置冷却台
。 单一或双腔式设计
。 全自动键合工艺执行和键合室自动开合设计
。多层键合能力，如三层基片同时键合
。集成的冷却台，大幅提高产能
。 选项:
- 涡轮分子泵
- 高真空能力
-程序控制气体流量
2、技术参数
激光直写光刻机EVG520IS的工作原理介绍
激光直写光刻机EVG520IS的使用方法?
EVG520IS多少钱一台?
激光直写光刻机EVG520IS可以检测什么？
激光直写光刻机EVG520IS使用的注意事项？
EVG520IS的说明书有吗？
激光直写光刻机EVG520IS的操作规程有吗？
激光直写光刻机EVG520IS报价含票含运吗？
EVG520IS有现货吗？
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
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公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
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